檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="電漿輔助化學氣相沉積"
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本論文研究有機發光二極體(Organic Light-Emitting Diode, OLED)薄膜封裝技術製程，在Si基材上以高密度電漿輔助化學氣相沉積PECVD法鍍上SiOx薄膜，研究製程參數(…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統，成長矽薄膜摻雜層及非晶矽薄膜太陽能電池，分別以三丁基磷與三甲基硼為摻雜原料，成長n型及p型非晶矽薄膜、p型的非晶矽及p型微晶矽薄膜，並探討其光電性質。 在成長…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎，分為兩部分：第一部份為成長低介電係數薄膜，實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…
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本論文的實驗採用分子結構類似TEOS的含碳氫氟長鏈和矽氧烷分子先驅物十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷基-三乙氧基矽烷 (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl-t…